特許
J-GLOBAL ID：200903081654550749
酸素センサの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-293779
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142190
出願日： 1996年11月06日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】拡散律速層を備えた酸素センサの製造方法において、同拡散律速層の細孔の形成を容易なものとし、且つ、歩留まりを向上させる。【解決手段】酸素センサ11の素子12は、発熱体30を内蔵するヒータ13と、排気側電極31及び大気側電極33とを有する固体電解質板24を含む検出部14と、拡散律速板26とを備える。ヒータ13、検出部14及び拡散律速板26となる板状の素材を順に積層した後、拡散律速板26の素材に対してビーム径が1000Åの電子ビームを照射することにより、排気室36にまで通じる細孔40を複数形成する。その後、積層状態にある各素材を脱脂・焼成する。
請求項（抜粋）：
酸素濃度測定用の素子と、当該素子に配された一対の電極と、前記一方の電極が配された素子面を覆う拡散律速層とを備え、前記素子に接する気体の酸素濃度に応じた信号を前記各電極を通じて出力する酸素センサの製造方法であって、前記拡散律速層となる拡散律速層形成部材に電子ビームを照射して所定の径を有する貫通孔を形成する行程を含むことを特徴とする酸素センサの製造方法。
引用特許：
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