特許
J-GLOBAL ID:200903081681946298

真空圧用2ポートバルブ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 林 宏 ,  後藤 正彦 ,  林 直生樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-346989
公開番号(公開出願番号):特開2005-337488
出願日: 2004年11月30日
公開日(公表日): 2005年12月08日
要約:
【課題】 2つのピストンで弁部材を段階的に駆動して弁座を段階的に開放させることにより、2つのポート間の流路を急激な流量変化が生じないように緩やかに開放することが可能な2ポートバルブを得る。【解決手段】 弁部材4を駆動するシリンダ部2のピストン室23内に、初期開放用の第1ピストン24と、この第1ピストン24を初期開放位置に停止させるスリーブ35と、このスリーブ35内に摺動自在に配設されて上記弁部材4からの弁シャフト11に連結された第2ピストン37とを設け、弁部材4の開放初期には、上記第1ピストン24で第2ピストン37を初期開放位置まで駆動して弁部材4を僅かに開放させ、そのあと第2ピストン37を単独に駆動して弁部材4を全開位置まで移動させる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
軸線方向に連なる主弁部とシリンダ部とを有し、 上記主弁部は、流路で連通する第1メインポート及び第2メインポートと、上記流路中に介在する弁座と、この弁座を開閉する弁部材と、この弁部材から上記軸線方向に延びて上記シリンダ部のピストン室内に達する弁シャフトとを有し、 上記シリンダ部は、上記ピストン室を有するシリンダハウジングと、上記ピストン室内に移動自在に配設されて第1ピストンの初期開放位置を規定するスリーブと、このスリーブの位置を規定する位置決め部材と、上記スリーブの内部に摺動自在に配設されて上記弁シャフトに連結された第2ピストンと、上記ピストン室内に摺動自在に配設され、弁部材の開放初期に上記スリーブで規定される初期開放位置まで第2ピストンを駆動する上記第1ピストンと、この第1ピストンを操作するための第1圧力室と、上記第2ピストンを操作するための第2圧力室と、これらの圧力室に個別に連通する第1パイロットポート及び第2パイロットポートとを有する、 ことを特徴する真空圧用2ポートバルブ。
IPC (2件):
F16K51/02 ,  F16K31/122
FI (2件):
F16K51/02 A ,  F16K31/122
Fターム (16件):
3H056AA01 ,  3H056BB02 ,  3H056BB11 ,  3H056BB44 ,  3H056CA03 ,  3H056CA14 ,  3H056CB03 ,  3H056CC02 ,  3H056CD04 ,  3H056CE03 ,  3H056DD03 ,  3H056DD10 ,  3H056EE02 ,  3H056GG14 ,  3H066AA01 ,  3H066BA06
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 真空バルブ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-332585   出願人:エスエムシー株式会社
審査官引用 (4件)
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