超臨界流体を利用した洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-009442
公開番号（公開出願番号）：特開平8-197021
出願日： 1995年01月25日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】【目的】被洗浄物の洗浄と並行して、次の洗浄の際に使用する洗浄媒質の昇圧を行うことのできる洗浄装置を提供する。【構成】昇圧ポンプP1と配管により接続されたバッファタンク7を備える。昇圧ポンプP1は、被洗浄物6の洗浄中に、次の洗浄に使用する二酸化炭素を昇圧し、バッファタンク7に一時貯蔵する。被洗浄物6の洗浄処理終了後、バッファタンク7から洗浄室1に二酸化炭素が送出される。【効果】洗浄処理に要する時間を短縮する。

請求項（抜粋）：

洗浄媒質の圧力を臨界圧力以上にする昇圧手段と、前記洗浄媒質を導入して、被洗浄物を洗浄する洗浄室と、を備えてなる超臨界流体を利用した洗浄装置において、前記昇圧手段と接続され、前記被洗浄物の洗浄中に次の洗浄に使用する洗浄媒質を昇圧して一時貯蔵し、洗浄処理終了後に前記昇圧された洗浄媒質を前記洗浄室に送出するバッファタンクを備えてなることを特徴とする洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/10 , B01J 3/00 , B08B 5/00 , H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (2件)

洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-028268 出願人：バブコック日立株式会社
特開平4-073975

前のページに戻る