特許

J-GLOBAL ID：200903081705483006

Fe-Co基合金ターゲット材およびその製造方法

発明者： 上野 友典 ,  高島 洋 ,  藤本 光晴
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-086852
公開番号（公開出願番号）：特開2006-265653
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】 垂直磁気記録媒体等に用いられるFe-Co基合金の非晶質もしくは微結晶軟磁性膜を成膜するためのFe-Co基合金ターゲット材に関して、良好なスパッタリング特性を有する低透磁率のFe-Co基合金ターゲット材を提供する。【解決手段】 元素M1が、4a族、5a族および4b族から選ばれる元素であり、原子比における組成式が((FeXCo(100-X))100-YM1Y)、55≦X≦75、3≦Y≦25で表されるFe-Co基合金ターゲット材である。また、元素M2が、6a族、7a族および8族(FeおよびCoを除く)から選ばれる1種以上の元素であり、原子比における組成式が((FeXCo(100-X))100-ZM2Z)100-YM1Y、55≦X≦75、3≦Y≦25、0<Z≦20で表されるFe-Co基合金ターゲット材である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

元素M1が、4a族、5a族および4b族から選ばれる元素であり、原子比における組成式が((FeXCo(100-X))100-YM1Y)、55≦X≦75、3≦Y≦25で表されることを特徴とするFe-Co基合金ターゲット材。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  B22F 3/14 ,  B22F 3/15 ,  C22C 33/02 ,  C22C 38/00

FI (5件)：

C23C14/34 A ,  B22F3/14 101B ,  B22F3/15 M ,  C22C33/02 L ,  C22C38/00 303S

Fターム (12件)：

4K018AA24 ,  4K018BA16 ,  4K018BB03 ,  4K018BB10 ,  4K018EA11 ,  4K018EA21 ,  4K018KA29 ,  4K018KA43 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許公開出願第2002/0058159A1号明細書
  
• Fe-Co-B系合金ターゲット材、その製造方法、軟磁性膜および磁気記録媒体ならびにTMR素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-100406   出願人：日立金属株式会社