特許
J-GLOBAL ID:200903081712990622

コンデンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池内 寛幸 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-044290
公開番号(公開出願番号):特開平5-243076
出願日: 1992年03月02日
公開日(公表日): 1993年09月21日
要約:
【要約】【目的】 下部電極の表面の絶縁層が撥水性基および珪素を分子内に含む化学吸着膜からなり、下部電極の表面と直接または間接的に共有結合により固定されており、かつ絶縁層上に導電性分子からなる上部電極を具備したことにより、実質的にピンホールフリーの高容量コンデンサを実現する。【構成】 基板1の表面に下部電極2を備え、その表面に絶縁層3を備え、その表面に上部電極4を備えたコンデンサであって、絶縁層3は撥水性基および珪素を分子内に含む化学吸着膜からなり、この化学吸着膜は下部電極2の表面と直接または間接的に共有結合により固定されており、かつ絶縁層3上に導電性分子からなる上部電極4が形成されている。一例として上部電極4に化学吸着単分子より分子サイズの大きな環状炭素構造を含む導電性分子34を用いる。
請求項(抜粋):
基板の表面に下部電極を備え、前記下部電極の表面に絶縁層を備え、前記絶縁層の表面に上部電極を備えたコンデンサであって、前記絶縁層は撥水性基および珪素を分子内に含む化学吸着膜からなり、前記化学吸着膜は下部電極の表面と直接または間接的に共有結合により固定されており、かつ前記絶縁層上に導電性分子からなる上部電極を具備したことを特徴とするコンデンサ。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭62-221103
  • 特開昭62-271409
  • 特開昭61-063009

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