特許
J-GLOBAL ID：200903081751634361
表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-287006
公開番号（公開出願番号）：特開2007-095637
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【課題】蒸着対象となる基板とメタルマスクとの位置ずれを抑制することが可能な表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 表示素子を画素毎に備えた表示装置の製造装置であって、有機活性層を構成する第1機能層を蒸着する第1チャンバ210と、各画素に対応した開口部を有するメタルマスク222を備え第1機能層上における画素毎にメタルマスク222を介して第2機能層を蒸着する第2チャンバ220と、第1チャンバ210と第2チャンバ220とを接続し第1機能層を蒸着済みの処理基板SUBを第2チャンバ220に搬送する搬送チャンバ230と、搬送チャンバ230内の処理基板SUBを所定温度に保温する保温機構240と、を備えたことを特徴とする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板上に第1電極、前記第1電極上に配置され発光層を含む複数の機能層を積層した活性層と、前記活性層上に配置された第2電極とで構成された表示素子を画素毎に備えた表示装置の製造装置であって、
活性層を構成する第1機能層を蒸着する第1チャンバと、
各画素に対応した開口部を有するメタルマスクを備え、前記第1機能層上における画素毎に前記メタルマスクを介して第2機能層を蒸着する第2チャンバと、
前記第1チャンバと前記第2チャンバとを接続し、前記第1機能層を蒸着済みの処理基板を前記第2チャンバに搬送する搬送チャンバと、
前記搬送チャンバ内の処理基板を所定温度に保温する保温機構と、
を備えたことを特徴とする表示装置の製造装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, H01L 51/50
, C23C 14/56
H05B33/10
, H05B33/14 A
, C23C14/56 G
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA00
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA01
, 4K029KA01
