特許
J-GLOBAL ID：200903081789046102

吸着装置

発明者：
細野 則義

細野 則義 について

, 
小田嶋 智

小田嶋 智 について

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田中 清文

田中 清文 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-348266
公開番号（公開出願番号）：特開2007-157847
出願日： 2005年12月01日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】 例え基板が薄い場合でも、ハンドリング時等に容易に破損するのを抑制できる吸着装置を提供する。【解決手段】 半導体ウェーハWを保持する吸着治具1を吸着パッド10に取り外し可能に支持させ、吸着治具1を、板体2と、板体2に形成される凹み穴3と、凹み穴3を被覆して半導体ウェーハWを保持する変形可能な保持層5と、板体2に設けられて保持層5に被覆された凹み穴3の空気を排気する排気孔6とから構成して凹み穴3に、保持層5用の複数の支持突起4を設ける。また、吸着パッド10を、吸着治具1の板体裏面に重なるパッド11と、パッド11から伸びるアーム14から構成してパッド11に、吸着治具1の板体裏面に対向する対向溝穴12と、吸着治具1の排気孔6に連通する連通溝穴13をそれぞれ設け、パッド11とアーム14には、パッド11の対向溝穴12に連通する給排路15、及びパッド11の連通溝穴13に連通する排出路16を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板を保持する吸着治具を吸着パッドに取り外し可能に支持させた吸着装置であって、 吸着治具は、剛性を有する板体と、この板体の表面に形成される凹部と、この凹部を被覆して基板を着脱自在に粘着保持する変形可能な保持層と、板体に設けられて保持層に被覆された凹部の気体を外部に排気する排気孔とを含み、凹部には、保持層を支持する複数の支持突起を設け、 吸着パッドは、吸着治具の板体裏面に重なるパッドと、このパッドから伸びるアームとを含み、パッドには、吸着治具の板体裏面に対向する対向穴と、吸着治具の排気孔に連通する連通穴とをそれぞれ設け、パッドとアームのうち少なくともアームには、パッドの対向穴に連通する給排路、及びパッドの連通穴に連通する排出路を設けたことを特徴とする吸着装置。
IPC (4件)：
H01L 21/677 ,  B25J 15/04 ,  B65G 49/07 ,  B25J 15/06
FI (4件)：
H01L21/68 B ,  B25J15/04 A ,  B65G49/07 G ,  B25J15/06 G
Fターム (13件)：
3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS00 ,  3C007FT08 ,  3C007GS01 ,  3C007GU00 ,  5F031CA02 ,  5F031CA09 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA08 ,  5F031GA30 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)
  • 特開昭59-169784
  • 部品保持装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-323294   出願人：ジューキ株式会社

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