感放射線性樹脂組成物およびメッキ造形物の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-090853
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281863
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】特に、メッキ中およびメッキ後の水洗・乾燥によってもパターンにクラックを生じることがなく、バンプあるいは配線等の厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができ、かつ感度、解像度等にも優れたポジ型感放射線性樹脂組成物、並びに当該組成物を用いるメッキ造形物の製造方法を提供する。【解決手段】 (A)酸により解離して酸性官能基を生じる酸解離性官能基を有する重合体、(B)ポリ(ビニル低級アルキルエーテル)、(C)放射線の照射により酸を発生する成分および(D)有機溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。この組成物は、ポジ型感放射線性樹脂膜としても使用される。メッキ造形物は、基板上に前記組成物または樹脂膜から形成されたパターンを鋳型として電解メッキする工程を経て製造される。

請求項（抜粋）：

(A)酸により解離して酸性官能基を生じる酸解離性官能基を有する重合体、(B)ポリ(ビニル低級アルキルエーテル)、(C)放射線の照射により酸を発生する成分および(D)有機溶剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (11件)：

G03F 7/039 601 , C08J 5/18 CER , C08L 29/10 , C08L101/02 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , G03F 7/033 , G03F 7/38 511 , G03F 7/40 521 , G03F 7/42 , H01L 21/027

FI (11件)：

G03F 7/039 601 , C08J 5/18 CER , C08L 29/10 , C08L101/02 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , G03F 7/033 , G03F 7/38 511 , G03F 7/40 521 , G03F 7/42 , H01L 21/30 502 R

Fターム (69件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB11 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CB06 , 2H025CB55 , 2H025CC03 , 2H025DA30 , 2H025EA08 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA43 , 2H025FA48 , 2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096CA16 , 2H096EA02 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096HA27 , 2H096JA04 , 2H096LA13 , 2H096LA16 , 4F071AA22X , 4F071AA30 , 4F071AA33 , 4F071AA33X , 4F071AA76X , 4F071AC03 , 4F071AC12 , 4F071AC13 , 4F071AC14 , 4F071AE03 , 4F071AH19 , 4F071BA02 , 4F071BB02 , 4F071BB12 , 4F071BC02 , 4J002BC08W , 4J002BC09W , 4J002BC12W , 4J002BE04X , 4J002BG01W , 4J002BG04W , 4J002BG05W , 4J002BG07W , 4J002BJ00W , 4J002BL01W , 4J002BL02W , 4J002BQ00W , 4J002EB096 , 4J002EB126 , 4J002EQ016 , 4J002EU186 , 4J002EV236 , 4J002EV246 , 4J002EV266 , 4J002EV296 , 4J002EW056 , 4J002EY016 , 4J002FD156 , 4J002GP03

引用特許：

審査官引用 (2件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-271559 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-118645

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