特許

J-GLOBAL ID：200903081811742487

仕上げ研磨用ラッピングオイル組成物

発明者： 折井 一也 ,  齋藤 軍夫 ,  藤田 恭敏 ,  桜田 俊道 ,  山口 正雄
出願人/特許権者： 東京磁気印刷株式会社 ,  ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-008715
公開番号（公開出願番号）：特開2001-200244
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 磁気ヘッド等のセラミック・金属間、異種セラミック・セラミック間に段差を生じさせない仕上げ研磨用ラッピングオイル組成物を提供する。【解決手段】 非水系溶媒と、式(I)で表されるアセチレングリコール化合物及び式(II)で表されるリン酸エステル化合物の少なくとも一種好ましくは両者と、を含む仕上げ研磨用ラッピングオイル組成物。(R1〜R4はアルキル基、アルキルアリール基、n=2〜4、m=0〜6)(Rは炭素数8〜18であるアルキル基、アルケニル基等、n=2〜4、m=0〜4、x=1〜2、MはH、Na、K、Ba、NH4などのアミン類、NH(C2H4OH)3などのアルカノールアミン類)【効果】上記組成物を用いて仕上げ研磨することにより、前処理工程後よりも低PTR値および高面品質に加工することが出来る。

請求項（抜粋）：

非水系溶媒と、アセチレングリコール化合物またはそれとリン酸エステル化合物と、を含む仕上げ研磨用ラッピングオイル組成物。

IPC (2件)：

C09K 3/14 550 ,  B24B 57/02

FI (2件)：

C09K 3/14 550 M ,  B24B 57/02

Fターム (2件)：

3C047FF08 ,  3C047GG00

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ハードディスク基板の研磨用組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-330197   出願人：三菱化学株式会社
• ラップ加工用油剤組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-053987   出願人：日本石油株式会社
• 研磨液用洗浄剤組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-197219   出願人：三菱化学株式会社
• CMP用研磨剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-192935   出願人：多摩化学工業株式会社