流量制御弁及びこれを用いた流量制御システム

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125760
公開番号（公開出願番号）：特開平9-303609
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】元圧が変動しても一定の流量に調整でき、薬液などで腐食せず、この薬液に金属汚染を生じさせない制御弁および流量制御装置を提供すること。【解決手段】流路が形成された弁本体51と、この弁本体51に形成された収納部55と、この収納部55に移動自在に収納され、この移動によって上記流路に流れる液体の流路を制御する弁体57と、上記収納部55の外部に設けられ、上記弁体57を磁気力によって移動させる駆動手段とを具備した制御弁5を設け、流路を流れる液体の流量を検出する検出手段と、この検出手段からの検出信号によって上記制御弁5を制御する制御手段と、を設けた構成である。上記構成によると、上記制御弁を磁気力により非接触の状態で駆動でき、そのため液体に金属汚染を生じさせず、また元圧が変動して流量が変化する場合であってもこの制御弁を制御することにより、流路を流れる液体の流量を制御して一定とすることが可能となる。

請求項（抜粋）：

液体の流入部及び流出部を有し、これら流入部及び流出部と接続する収納部を形成する弁本体と、この弁本体の収納部内に移動自在に配置された弁体と、前記弁体の外部近傍に設けられ、前記弁体を磁気力により移動させる駆動機構とを具備し、前記駆動機構により前記弁体を移動させ、前記流出部から流出する液体の流量を制御することを特徴とする流量制御弁。

IPC (6件)：

F16K 31/44 , F16K 31/04 , F16K 31/50 , G05D 7/06 , G01F 1/58 , G01F 1/66

FI (6件)：

F16K 31/44 H , F16K 31/04 A , F16K 31/50 A , G05D 7/06 Z , G01F 1/58 Z , G01F 1/66 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

流量制御弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-100749 出願人：矢崎総業株式会社
貫流容積測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-207327 出願人：クローネメステヒニークゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツングウントコンパニーコマンデイトゲゼルシヤフト

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