熱処理装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：金本哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-072628
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263370
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】熱処理装置によって被処理体の表面に窒化膜を形成するにあたり、反応管内雰囲気と接している部材、治具等からパーティクルが発生するのを防止するとともに、メンテナンスサイクルを長くする。【構成】ウエハボート10に搭載されたまま反応管3内にロードされるウエハWに対して、所定の減圧、高温雰囲気の下で、窒化膜を形成する如く構成された熱処理装置において、少なくとも反応管3及びウエハボート10を構成する材料に、前記ウエハW表面の窒化膜と同等の熱膨張係数を有する材料を用いる。熱膨張係数が近似しているので、高温雰囲気においても、熱反応管3やウエハボート10表面に堆積した窒化膜に、膜割れが起きない。

請求項（抜粋）：

搭載治具に搭載されたまま反応管内にロードされる被処理体に対して、所定の減圧雰囲気下で前記被処理体を加熱して、この被処理体表面に所定の窒化膜を形成する如く構成された熱処理装置において、少なくとも前記反応管及び搭載治具が、前記窒化膜と同等の熱膨張係数を有する材料によって構成されたことを特徴とする、熱処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 , H01L 21/31 , H01L 21/324

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭64-083668
特開昭63-273323
特開昭56-001526

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