アーク式蒸発源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-108251
公開番号（公開出願番号）：特開平8-283933
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：

【要約】【目的】陰極から粗大な粒子が飛散することを確実に防止して、面粗度の極めて良好な薄膜を形成することができるアーク式蒸発源を提供する。【構成】このアーク式蒸発源40は、陰極2におけるアーク放電を利用して陰極物質を蒸発させるものであり、陰極構成物質と反応する反応性ガス34を陰極前面2aに吹き付けるガス吹付け機構32を備えている。このアーク式蒸発源40は更に、複数の棒状の永久磁石42を、各々の一方の磁極がフランジ6の後面にひいては陰極後面2bに対向するように、かつN極とS極とが交互に並ぶように配置しており、それによって、陰極後面2bの後方近傍に、互いに極性の異なる複数の磁極を形成している。

請求項（抜粋）：

陰極におけるアーク放電を利用して陰極物質を蒸発させるアーク式蒸発源であって、陰極構成物質と反応する反応性ガスを陰極前面に吹き付けるガス吹付け機構を備えるものにおいて、前記陰極の後面の後方近傍に、互いに極性の異なる複数の磁極を、陰極後面に対向させて配置していることを特徴とするアーク式蒸発源。

引用特許：

審査官引用 (1件)

硬質材料の被覆方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-039763 出願人：ハウツァーホールディングベーファウ

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