特許
J-GLOBAL ID：200903081866188624
シート貼付装置及び貼付方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-149067
公開番号（公開出願番号）：特開2009-295846
出願日： 2008年06月06日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：
【課題】複雑な減圧制御を必要とすることなく減圧下で接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。【解決手段】半導体ウエハWを支持するテーブル11を収容するとともに内部に減圧室Cを形成する開閉可能なケース14と、半導体ウエハWに臨む位置に接着シートSを供給する供給手段15と、テーブル11に相対する位置で前記ケース14内に配置された挟込手段29とを備えてシート貼付装置10が構成されている。挟込手段29は、前記ケース14を閉塞して単一の減圧室Cが形成された状態で、テーブル11と相互に作用して半導体ウエハWの外周部のみを接着シートSと共に挟み込む。その後、減圧室Cの減圧を解除することで、接着シートSが半導体ウエハWに貼付される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被着体を支持するテーブルと、当該テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースと、前記被着体に臨む位置に接着シートを供給する供給手段とを含み、前記ケースを閉塞して減圧室の圧力を所定制御して接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込むことを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA78
, 5F031MA37
