特許

J-GLOBAL ID：200903081884851446

基板研磨用アルミナ治具

発明者： 松元 義文 ,  遠藤 英宏 ,  中山 秀實
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 井上 雅生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176935
公開番号（公開出願番号）：特開平9-002863
出願日： 1995年06月21日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、半導体基板、特にシリコンウエハーなどの基板の研磨用治具に関するものであり、主としてウエハーを保持する定盤(治具)に関するものである。【構成】 ジルコニアを0.1重量%以上、2.0重量%以下を含有したアルミナ焼結体からなることを特徴とする基板研磨用アルミナ治具。アルミナ焼結体の密度が3.9g/cm3以上、アルミナ焼結体のアルカリ(Na2O+K2O)含有量を500ppm以下とする。シリコン基板をアルカリ液にて研磨する際に使用される。

請求項（抜粋）：

ジルコニアを0.1重量%以上、2.0重量%以下含有したアルミナ焼結体からなることを特徴とする基板研磨用アルミナ治具。

IPC (3件)：

C04B 35/10 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

FI (3件)：

C04B 35/10 Z ,  B24B 37/04 A ,  H01L 21/304 321 H

引用特許：

出願人引用 (4件)

• アルミナ焼結体用組成物及びアルミナ焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-357121   出願人：東陶機器株式会社
• 特開昭62-143866
  
• 高純度アルミナセラミックス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-327529   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 特開昭64-045566
  

審査官引用 (4件)

• アルミナ焼結体用組成物及びアルミナ焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-357121   出願人：東陶機器株式会社
• 特開昭62-143866
  
• 高純度アルミナセラミックス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-327529   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 特開昭64-045566