特許
J-GLOBAL ID：200903081898335220
レーザドリル装置及びレーザ穴あけ加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-153201
公開番号（公開出願番号）：特開平11-347766
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：
【要約】【課題】 高速加工が可能で、所定形状の穴を形成できるレーザドリル装置を提供する。【解決手段】 レーザ発振器11からのレーザ光を、コリメータレンズ13を通してカライドスコープに入射させ、均一な強度のレーザ光とする。このレーザ光をバンドルファイバー16で複数のレーザ光に分割し、それぞれマスク18のマスク穴に照射する。マスク穴は、被加工物の移動方向に短く、移動方向に直交する方向に長い長方形とする。マスク穴を通過したレーザ光をイメージングレンズ20で集光し、リニアステージ21上の被加工物23に照射する。レーザ発振器のレーザ発振は、リニアステージを移動させながら、その位置に応じて行なう。形成される穴の形状は、正方形に近いものとなる。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発するレーザ発振器と、複数のマスク穴が形成されたマスクと、前記複数のマスク穴に前記レーザ光を照射するための光学系と、被加工物を保持移動させるためのワークステージと、前記レーザ発振器の発振と、前記ワークステージによる前記被加工物の移動をともに制御する制御手段を設け、前記ワークステージを制御して前記被加工物を移動させながら、前記ワークステージの位置に応じて前記レーザ発振器を発振させてレーザ穴あけ加工を行なうレーザドリル装置において、前記マスクの形状を、前記被加工物の移動方向に短く、該移動方向に直交する方向に長い、略長方形としたことを特徴とするレーザドリル装置。
IPC (3件)：
B23K 26/00 330
, B23K 26/08
, H05K 3/00
B23K 26/00 330
, B23K 26/08 F
, H05K 3/00 N
