特許

J-GLOBAL ID：200903081901833929

静電チャック

発明者： 原島 啓一 ,  秋元 健司
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-292553
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243137
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】ウェハ10を保持する静電チャックにおいて、電荷の残留による吸着力があっても、保持台5の保持面からウェハ10を安定して離脱させる。【解決手段】ウェハ10の周辺部に保持台5から離脱させるための複数の離脱用ピン1を配置し、ウェハ10の弾性変形範囲内で離脱用ピン1をステップ状にウェハを突き上げる離脱駆動機構2と、これらの離脱駆動機構2を任意に選択し作動させる制御装置3を設け、ウェハ10の周辺部を均等に僅かづつ突き上げて保持台5から離脱させる。

請求項（抜粋）：

静電気で半導体基板を吸着保持する保持台と、前記保持台に保持された前記半導体基板を前記保持台から突き上げる複数のリフトピンと、前記保持台に保持された前記半導体基板の周辺部に対応する位置に設けられた複数の離脱用ピンと、前記離脱用ピンを押し上げることにより前記保持台に保持された前記半導体基板の前記周辺部を押し上げた後前記リフトピンを突き上げる手段とを備える静電チャック。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00 ,  B23Q 3/15

FI (6件)：

H01L 21/68 R ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  H02N 13/00 D ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特許第3005461号
  
• 静電チャック強制離脱方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-129492   出願人：日新電機株式会社