バーンイン装置及びその制御方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：吉武賢次 , 橘谷英俊 , 佐藤泰和 , 吉元弘 , 川崎康 , 関根毅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-296563
公開番号（公開出願番号）：特開2007-107919
出願日： 2005年10月11日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】装置の小型化を図ることのできるバーンイン装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】本発明に係るバーンイン装置は、バーンインボードが挿入される複数のスロットが配置され、周囲から熱的に遮断された、恒温槽と、前記恒温槽を第1のサブ恒温槽と第2のサブ恒温槽に分割しつつ、前記第1のサブ恒温槽と前記第2のサブ恒温槽との間で空気の移動が可能なように形成された、仕切壁であって、前記第1のサブ恒温槽と前記第2のサブ恒温槽には、それぞれ、前記複数のスロットのうちの少なくとも1つが配置されている、仕切壁と、前記第2のサブ恒温槽の空気を吸引して、前記第1のサブ恒温槽に送出するための、第1のブロアと、前記第1のサブ恒温槽の空気を吸引して、前記第2のサブ恒温槽に送出するための、第2のブロアと、を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

バーンインボードが挿入される複数のスロットが配置され、周囲から熱的に遮断された、恒温槽と、前記恒温槽を第1のサブ恒温槽と第2のサブ恒温槽に分割しつつ、前記第1のサブ恒温槽と前記第2のサブ恒温槽との間で空気の移動が可能なように形成された、仕切壁であって、前記第1のサブ恒温槽と前記第2のサブ恒温槽には、それぞれ、前記複数のスロットのうちの少なくとも1つが配置されている、仕切壁と、前記第2のサブ恒温槽の空気を吸引して、前記第1のサブ恒温槽に送出するための、第1のブロアと、前記第1のサブ恒温槽の空気を吸引して、前記第2のサブ恒温槽に送出するための、第2のブロアと、を備えることを特徴とするバーンイン装置。

IPC (1件)：

G01R 31/26

FI (1件)：

G01R31/26 H

Fターム (3件)：

2G003AC01 , 2G003AD02 , 2G003AH05

引用特許：

出願人引用 (1件)

バーンイン装置及びバーンイン方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-117401 出願人：デンケンエンジニアリング株式会社

審査官引用 (3件)

特開昭60-181667
特開昭60-181667
特開昭62-169065

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