特許
J-GLOBAL ID：200903094541760725

バーンイン装置及びバーンイン方法

発明者：
中尾 恭介

中尾 恭介 について


出願人/特許権者：
デンケンエンジニアリング株式会社

デンケンエンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 榎本 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117401
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304804
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 複数の被測定デバイスの温度制御を個々に行うことが可能で、温度制御に対する被測定デバイスの温度変化の応答が速く、正確な温度制御が可能なバーンイン装置を提供する【解決手段】 バーンインボード上に搭載され上面に被測定デバイスが収納される嵌合口が形成されたバーンインソケットと、嵌合口に脱着自在に嵌合し嵌合口に収納された被測定デバイスの上面に接触するヒートブロックと、ヒートブロックの内部に配設されヒートブロックを加熱するヒータと、ヒートブロックの内部に配設されヒートブロックの温度θhを検出するヒートブロック温度センサと、を備える。
請求項（抜粋）：
バーンインボード上に搭載され上面に被測定デバイスが収納される嵌合口が形成されたバーンインソケットと、前記嵌合口に脱着自在に嵌合し前記嵌合口に収納された前記被測定デバイスの上面に接触するヒートブロックと、前記ヒートブロックの内部に配設され前記ヒートブロックを加熱するヒータと、前記ヒートブロックの内部に配設され前記ヒートブロックの温度θhを検出するヒートブロック温度センサと、を備えたことを特徴とするバーンイン装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26 ,  G01K 1/14 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01R 31/26 H ,  G01R 31/26 J ,  G01K 1/14 L ,  H01L 21/66 H
Fターム (25件)：
2F056CL07 ,  2G003AA01 ,  2G003AA07 ,  2G003AB15 ,  2G003AB16 ,  2G003AD01 ,  2G003AD02 ,  2G003AD03 ,  2G003AD06 ,  2G003AG01 ,  2G003AG10 ,  2G003AG12 ,  2G003AG16 ,  2G003AH04 ,  2G003AH05 ,  4M106AA04 ,  4M106BA14 ,  4M106CA56 ,  4M106DH01 ,  4M106DH14 ,  4M106DH15 ,  4M106DH44 ,  4M106DH46 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ34
引用特許：
審査官引用 (3件)

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