特許
J-GLOBAL ID：200903081983877538
微粒子の散布方法および散布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-039038
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292620
出願日： 1997年02月24日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】微粒子を基板上に均一に散布することができ微粒子の散布方法および散布装置を提供する。【解決手段】X方向に移動自在な移動テーブル上に載置された基板と、Y方向に揺動する散布ノズルとが、基板に対する散布ノズルの延長線の走査軌跡がジグザグとなるように相対移動される。相対移動の間、除電バーによって基板をその移動方向に沿って順次除電しながら、散布ノズルからスペーサを散布するとともに、散布ノズルが走査軌跡の折返し部分を通過する際、散布ノズルからのスペーサ散布量を低減させる。
請求項（抜粋）：
液晶表示パネルを構成する基板上にスペーサとして機能する微粒子を散布する微粒子の散布方法において、基板表面上に散布ノズルから散布される微粒子が、基板表面にジグザグの走査軌跡を描くように、上記基板と散布ノズルとを平面内で相対移動させる工程と、上記相対移動の間、上記散布ノズルから微粒子を散布するとともに、上記散布ノズルの移動に伴って上記基板に対する微粒子の供給量を変化させる工程と、を備えたことを特徴とする微粒子の散布方法。
IPC (4件)：
G02F 1/1339 500
, B05B 12/00
, B05B 13/04
, B05D 1/12
G02F 1/1339 500
, B05B 12/00 Z
, B05B 13/04
, B05D 1/12
