特許

J-GLOBAL ID：200903081992974082

共焦点顕微鏡

発明者： 斎藤良治 ,  西田浩幸
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-021429
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221607
出願日： 1997年02月04日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 高集積IC等の微細立体構造の検査ができる高分解能、長焦点深度、リアルタイム観察可能な共焦点顕微鏡。【解決手段】 光源1から発した光で対物レンズ4像位置にある複数のピンホールで形成されているピンホール基板2を照明し、ピンホール基板2を通過する光を対物レンズ4で標本6上に結像し、標本6で反射される光を再び対物レンズ4を介してピンホール基板2に結像させ、ピンホール基板2を通過する光をリレーレンズ7等により標本像として再結像させ、ピンホール基板2を高速に回転させることによって標本6上で光を高速に走査し、標本6の再生像を得ることができる共焦点顕微鏡であり、軸上色収差を発生させる光学素子5をピンホール基板2と標本6の間に配置してある。

請求項（抜粋）：

光源から発した光で対物レンズ像位置若しくはその像位置と共役な位置又はその近傍にある複数のピンホールで形成されているピンホール基板を照明し、前記ピンホール基板を通過する光を対物レンズで標本上に結像し、標本で反射される光を再び前記対物レンズを介して前記ピンホール基板又はその近傍に結像させ、前記ピンホール基板を通過する光をリレーレンズ等により標本像として再結像させ、前記ピンホール基板を高速に回転させることによって標本上で光を高速に走査し、標本の再生像を得ることができる共焦点顕微鏡において、軸上色収差を発生させる光学素子をピンホール基板と標本の間に配置したことを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (4件)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/02 ,  G02B 21/06 ,  G02B 26/10

FI (4件)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/02 A ,  G02B 21/06 ,  G02B 26/10 F

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 共焦点光スキャナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-145833   出願人：横河電機株式会社