特許
J-GLOBAL ID：200903082045912185
欠陥検査方法および欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
鈴木 由充
, 小石川 由紀乃
, 新田 研太
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-036137
公開番号（公開出願番号）：特開2008-202949
出願日： 2007年02月16日
公開日（公表日）： 2008年09月04日
要約：
【課題】正反射光の配光分布のばらつきが大きいワークについても、凹凸欠陥を精度良く、かつ効率よく検出できるようにする。【解決手段】ワークWに定められた撮像ポイントOに対し、カメラ1をその光軸をワークWの法線の方向に対応させて配備し、撮像ポイントOに対して限定された方位に光源2を配備する。ワークWについては、あらかじめ、その配光特性により定まる正反射光の配光分布中で正反射光の強度の変化量が急峻になる範囲が特定されており、被検査面からの正反射光の進行方向のうち、配光分布中の特定された範囲にある方向がカメラの光軸に対応するように、光源2の光軸方向が定められる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定形状のワークを検査対象として、その表面に欠陥がないかどうかを、画像処理により検査する方法において、
前記ワークを撮像するためのカメラを、ワーク表面の所定位置に設定された撮像ポイントに光軸を合わせた状態で配備し、
前記ワークの配光特性により定まる正反射光の配光分布の中から、正反射光の強度が最大になる方向よりずれた範囲であって、所定の角度単位を隔てた方向に対する正反射光の強度の変化量が当該配光分布中で最大になる方向およびその近傍の方向を含み、正反射光の強度が0より大きい所定値以下になる方向を含まないような範囲を特定し、
前記カメラの視野に応じた大きさの面状光を発する光源を、前記撮像ポイントに対する面状光の方位が特定の角度範囲に限定されるように配備するとともに、この光に対するワーク表面からの正反射光の進行方向のうち、前記配光分布中の特定された範囲に含まれる方向がカメラの光軸に対応するように、光源の光軸方向を定め、
前記光軸方向が定められた光源による照明下でカメラによる撮像を実行し、その撮像により生成された画像を用いて前記ワーク表面の凹凸欠陥を検出するための画像処理を実行する、
ことを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2G051AA07
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051BA01
, 2G051BB03
, 2G051BB05
, 2G051BB11
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051DA03
, 2G051EA14
, 2G051EA17
