特許
J-GLOBAL ID：200903069896091056
欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
鈴木 由充
, 小石川 由紀乃
, 新田 研太
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-062505
公開番号（公開出願番号）：特開2006-313146
出願日： 2006年03月08日
公開日（公表日）： 2006年11月16日
要約：
【課題】成形体の表面の凹凸欠陥および色彩欠陥を、1度の撮像によって検出する。【解決手段】検査対象のワークの表面に対し、同軸落射照明用の照明部2Aと斜め入射照明用の照明部2Bとを同時に駆動して、その照明下でカメラ1による撮像を実行する。照明部2A,2Bには、それぞれR,G,Bの各色彩光を発光する光源21R,21G,21Bが設けられているが、照明部2Aについては、これら3種類の光源のうちの1種類のみを点灯させ、照明部2Bについては、照明部2Aで点灯しない1または2種類の光源を点灯させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
所定の材料による成形体を検査対象として、その表面に欠陥が生じていないかどうかを検査する方法であって、
検査対象の成形体に所定方向から照明を施したときの前記成形体からの正反射光が入射するようにカラー画像生成用の撮像手段を設置し、前記成形体に対し、前記所定方向から3種類の光R,G,Bのうちのいずれか1種類を照射する第1の照明と、前記撮像手段の光軸に対して斜めになる方向から前記第1の照明で使用していない1または2種類の光を照射する第2の照明とを同時に実行しつつ、前記撮像手段による撮像を実行し、
前記撮像により得られたカラー画像を用いて、前記成形体の表面の凹凸欠陥および色彩欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2G051AA90
, 2G051AB12
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051BB03
, 2G051BB05
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EB09
, 2G051EC01
, 2G051EC03
, 2G051ED21
出願人引用 (1件)
審査官引用 (13件)
全件表示
前のページに戻る
