トリクロロシラン製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-268618
公開番号（公開出願番号）：特開2008-133175
出願日： 2007年10月16日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：

【課題】トリクロロシラン製造装置において、効率的に反応生成ガスを急冷し、転換効率を向上させること。【解決手段】テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器1と、反応容器1の内部を加熱する加熱機構2と、反応容器1及び加熱機構2を収納する収納容器5と、反応容器1内に供給ガスを供給するガス供給内筒6と、ガス供給内筒6の外側にほぼ同軸で配されガス供給内筒6の外周面と自己の内周面との間に反応生成ガスの排気流路7が形成されたガス排気外筒8と、ガス排気外筒8を内側で支持し内部に冷媒を流通させる冷媒路4が形成された冷却筒9とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器と、前記反応容器の内部を加熱する加熱機構と、前記反応容器及び前記加熱機構を収納する収納容器と、前記反応容器内に前記供給ガスを供給するガス供給内筒と、前記ガス供給内筒の外側にほぼ同軸で配され前記ガス供給内筒の外周面と自己の内周面との間に前記反応生成ガスの排気流路が形成されたガス排気外筒と、前記ガス排気外筒を内側で支持し内部に冷媒を流通させる冷媒路が形成された冷却筒とを備えていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。

IPC (1件)：

C01B 33/107

FI (1件)：

C01B33/107 Z

Fターム (7件)：

4G072AA14 , 4G072GG04 , 4G072HH08 , 4G072JJ01 , 4G072MM01 , 4G072MM40 , 4G072UU01

引用特許：

出願人引用 (6件)

特許第3781439号公報
特開昭57-012826
特開昭62-021706

全件表示

前のページに戻る