特許
J-GLOBAL ID：200903082049346206

微調整装置

発明者：
桑名 一孝

桑名 一孝 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-184703
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001653
出願日： 2000年06月20日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：
【要約】【課題】 各種の加工装置において、被加工物を保持する部位の支持部の剛性を維持しつつ、支持状態の高精度な調整を可能にする【解決手段】 支点部54と作用点部55と力点部56とを有する梃子部材51と、力点部56に力を伝達するボルト部材53とから少なくとも構成され、第一の部材と第二の部材とに介在して位置関係を微調整する微調整装置50を提供する。
請求項（抜粋）：
第一の部材と第二の部材とに介在して位置関係を微調整する微調整装置であって、支点部と作用点部と力点部とを有する梃子部材と、該力点部に力を伝達するボルト部材とから少なくとも構成される微調整装置。
IPC (3件)：
B24B 41/06 ,  B24B 7/22 ,  H01L 21/304 631
FI (3件)：
B24B 41/06 L ,  B24B 7/22 Z ,  H01L 21/304 631
Fターム (7件)：
3C034AA08 ,  3C034AA13 ,  3C034BB73 ,  3C043BA09 ,  3C043BA16 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05
引用特許：
出願人引用 (7件)
  • 特開昭62-047581
  • 特開平4-072712
  • 位置調整ユニット及びそれを用いた研削装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-250195   出願人：株式会社ディスコ
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審査官引用 (7件)
  • 特開昭62-047581
  • 特開平4-072712
  • 位置調整ユニット及びそれを用いた研削装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-250195   出願人：株式会社ディスコ
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