特許
J-GLOBAL ID：200903082054084449
配線特性の試験装置および試験方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-120953
公開番号（公開出願番号）：特開平7-326647
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 試験時に大電流密度を使用した場合のジュール発熱で生ずる試料水準間の温度差を低減し、試料水準間での温度加速性の不揃いを解消して試験精度を高めた高加速性の配線信頼性評価用試験装置および試験方法を提供すること。【構成】 本発明装置は、被試験配線と絶縁されかつ隣接する温度検出用配線と、検出温度を入力とし、被試験配線に通電する試験電流を出力とする試験電流制御装置とを有することを特徴とする。なお、該被試験配線の抵抗値と試験電流との経時変化を記録する試験結果収集装置とを有することが好ましい。本発明方法は、被試験配線と絶縁されかつ隣接する温度検出用配線を設け、該温度検出用配線により検出する該試験配線の試験中の温度を、試験電流を制御することにより設定試験温度に平衡させ、その時に得られる平衡試験電流値を試験終了まで保持することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被試験配線と絶縁されかつ隣接する温度検出用配線と、該温度検出用配線から検出した検出温度を入力とし、被試験配線に通電する試験電流を出力とする試験電流制御装置とを少なくとも有することを特徴とする配線特性の試験装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01N 25/72
, G01N 27/00
, G01R 31/26
