特許
J-GLOBAL ID:200903082058200001

電荷移動力検出用プローブ及び電荷移動力検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-175633
公開番号(公開出願番号):特開2001-004644
出願日: 1999年06月22日
公開日(公表日): 2001年01月12日
要約:
【要約】【課題】 電荷移動力をS/N(フォーススペクトルにおける信号雑音比)良く、検出することができる電荷移動力検出用プローブを提供する。【解決手段】 板バネ等の弾性体14の先端に配置される検出用探針10は曲率半径rが15nm≦r≦0.5cmの大きさを有し、かつ、その表面が金属及びその金属間化合物、酸化物半導体、電子供与体となりうる有機化合物、電子受容体となりうる有機化合物等からなる易電荷移動物質32により被覆されている。
請求項(抜粋):
試料表面の電荷移動力を検出するためのプローブであって、弾性体の先端部に配置された検出用探針の曲率半径rが15nm≦r≦0.5cmで、かつ検出用探針が易電荷移動物質により被覆されていることを特徴とする電荷移動力検出用プローブ。
IPC (2件):
G01N 37/00 ,  G01B 21/00
FI (2件):
G01N 37/00 ,  G01B 21/00 Z
Fターム (15件):
2F069AA58 ,  2F069AA60 ,  2F069DD08 ,  2F069DD19 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG20 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24 ,  2F069RR03
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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