特許
J-GLOBAL ID:200903082074544152
耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小谷 悦司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-371171
公開番号(公開出願番号):特開2001-181826
出願日: 1999年12月27日
公開日(公表日): 2001年07月03日
要約:
【要約】【課題】 2層以上の異なる硬質層が積層された硬質皮膜であって、厚さ数μm以上であっても、優れた耐摩耗性及び密着性を発揮する硬質皮膜と、上記硬質皮膜が形成された硬質皮膜被覆部材を提供する。【解決手段】 1種以上の金属元素を含む窒化物,炭化物,炭窒化物からなり、これらの中から選ばれた化学組成の異なる2層以上が積層された硬質皮膜において、各層の厚さが0.4μm以上で、皮膜全体の厚さが0.8〜50μmであると共に、いずれの層も実質的に岩塩型結晶構造からなり、且つ各層の結晶組織が界面で実質的にエピタキシャル成長している硬質皮膜は、優れた耐摩耗性及び密着性を発揮する。
請求項(抜粋):
1種以上の金属元素を含む窒化物,炭化物,炭窒化物からなり、これらの中から選ばれた化学組成の異なる2層以上が積層された硬質皮膜であって、各層の厚さが0.4μm以上で、皮膜全体の厚さが0.8〜50μmであると共に、いずれの層も実質的に岩塩型結晶構造からなり、且つ各層の結晶組織が界面で実質的にエピタキシャル成長していることを特徴とする耐摩耗性に優れた硬質皮膜。
IPC (4件):
C23C 14/06
, B23B 27/14
, C30B 29/36
, C30B 29/38
FI (4件):
C23C 14/06 P
, B23B 27/14 A
, C30B 29/36 Z
, C30B 29/38 C
Fターム (25件):
3C046FF02
, 3C046FF03
, 3C046FF10
, 3C046FF13
, 3C046FF16
, 3C046FF25
, 4G077AA03
, 4G077AB02
, 4G077BE07
, 4G077BE11
, 4G077BE18
, 4G077DA02
, 4G077EA02
, 4G077HA13
, 4G077SA04
, 4G077SA07
, 4G077TK01
, 4K029BA54
, 4K029BA55
, 4K029BA58
, 4K029BB02
, 4K029BB07
, 4K029BC02
, 4K029BD05
, 4K029EA01
引用特許:
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