特許
J-GLOBAL ID：200903082093254386
圧電振動部材およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090873
公開番号（公開出願番号）：特開平9-277523
出願日： 1996年04月12日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：
【要約】【課題】 ダイシングソーによる機械加工が不要で、圧電アクチュエータと振動板を接着剤無しで組み立てる圧電振動部材の製造方法を提供する。【解決手段】 非圧電材料からなる振動板20の片面に共通電極22し、圧電材料に結合剤と溶剤を分散混合したスラリ28を共通電極の上に配置し、スラリを乾燥して柔軟性のあるグリーンシート30とし、グリーンシートを加圧成型して所定の間隔を置いて複数の前駆体34を形成し、前駆体を焼成して圧電粒子を成長させ、未分極の圧電体24とし共通電極と対向するように圧電体24にそれぞれ個別電極26を形成し分極処理して圧電アクチュエータ52とする。
請求項（抜粋）：
非圧電材料からなる振動板の片面に共通電極を形成する第1の工程と、圧電材料からなる仮焼粉体に結合剤と溶剤とを分散混合したスラリを上記共通電極の上に配置する第2の工程と、上記スラリを乾燥して柔軟性のあるグリーンシートにする第3の工程と、上記グリーンシートを加圧成型して所定の間隔を置いて複数の前駆体を形成する第4の工程と、上記前駆体を焼成して圧電粒子を成長させ未分極の圧電体を得る第5の工程と、上記共通電極と対向するように上記圧電体にそれぞれ個別電極を形成する第6の工程と、上記圧電体を分極処理する第7の工程とからなる圧電振動部材の製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
