マイクロ・エレクトロメカニカルRFスイッチをベースにした折り返しバネとその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大貫進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-269664
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143595
出願日： 2000年09月06日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】マイクロ・エレクトロメカニカルRFスイッチをベースにした折り返しバネとその製造方法が提供される。【解決手段】マイクロ・エレクトロメカニカル・スイッチ10は、バネ懸架装置22の上に懸架されたマイクロプラットフォーム構造20を用いて、基板12上に形成される。バネ懸架装置は、1つの端部でアンカー構造24に付着されて、信号ライン18上で、実質的に直交する方向で伸びる。マイクロプラットフォーム20は、信号ライン内の間隙21に面して配置される短絡片34を有し、電気接点ポストが、信号ライン上に形成されて、コンデンサ構造を形成し、このコンデンサ構造は、選択された電圧が印加されると、静電気より、底部電極14の方向に引きつけられる。このスイッチは、20GHzにおける電気的分離が35dB、挿入損が0.5dBの状態で、DCから少なくとも50GHzまで機能する。RFスイッチは、ワイヤレス通信を含む電気通信において用途を有する。

請求項（抜粋）：

基板(12)上に形成されたマイクロ・エレクトロメカニカル・スイッチ(10)であって:(a)前記基板上に形成されたアンカー構造(24),底部電極(14),および2つの独立した信号ラインであって、前記信号ラインは、開路を形成する間隙(21)を有する信号ライン;(b)1つの端部で前記アンカー構造(24)に付着されて、前記底部電極(14)方向に対し、実質的に直交方向に伸びるバネ懸架装置(22);(c)前記バネ懸架装置(23)のもう1つの端部に付着され、前記バネ懸架装置から遠隔の部分に形成される短絡片(34)を有するマイクロプラットフォーム構造(20)であって、前記短絡片は、前記信号ライン内の前記間隙に面する形で配置されるマイクロプラットフォーム構造(20);および(d)前記信号ライン上に形成され、前記短絡片に面するように配置されて、前記短絡片上で、選択的に電圧を印加すると、静電気により、前記底部電極方向に引きつけられるコンデンサ構造を形成する電気接点ポスト(32);によって構成されることを特徴とするマイクロ・エレクトロメカニカル・スイッチ。

IPC (4件)：

H01H 59/00 , B81B 3/00 , B81B 7/02 , H01L 29/84

FI (4件)：

H01H 59/00 , B81B 3/00 , B81B 7/02 , H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

高周波信号用スイッチを含む移相器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-284005 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
微細電気機械スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-082436 出願人：ロックウェル・インターナショナル・コーポレイション
マイクロリレー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-168426 出願人：シャープ株式会社

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