特許
J-GLOBAL ID:200903082146811851

高剛性ガラスセラミックス基板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 坂本 徹 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-133213
公開番号(公開出願番号):特開2001-048581
出願日: 2000年05月02日
公開日(公表日): 2001年02月20日
要約:
【要約】【課題】 高記憶密度化のコンタクトレコーディングに対応した表面平滑性と、高速回転ドライブに対応できる高ヤング率と良好な研磨加工性を兼ね備えた高剛性ガラスセラミック基板を提供する。【解決手段】 主結晶相を構成する結晶相において、エンスタタイト(MgSiO3),エンスタタイト固溶体(MgSiO3固溶体),チタン酸マグネシウム(MgTi2O5),チタン酸マグネシウム固溶体(MgTi2O5固溶体)の中から選ばれる少なくとも1種以上が含まれ、且つ各析出結晶粒子は、いずれも微細粒子(より好ましくは球状粒子)であり、原ガラスの溶融性・耐失透性および研磨加工性に優れ、研磨後の表面もより平滑性に優れた、情報磁気記憶媒体用高剛性ガラスセラミック基板。
請求項(抜粋):
主結晶相を有するガラスセラミックスからなる基板であって、該主結晶相は、エンスタタイト(MgSiO3),エンスタタイト固溶体(MgSiO3固溶体),チタン酸マグネシウム(MgTi2O5),チタン酸マグネシウム固溶体(MgTi2O5固溶体)の中から選ばれる少なくとも1種以上を含み、該ガラスセラミックスはヤング率が115〜160GPa、Al2O3成分が20重量%未満であることを特徴とする、高剛性ガラスセラミックス基板。
IPC (4件):
C03C 10/06 ,  C03B 32/02 ,  C03C 10/02 ,  G11B 5/73
FI (4件):
C03C 10/06 ,  C03B 32/02 ,  C03C 10/02 ,  G11B 5/73
引用特許:
審査官引用 (7件)
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