分子ポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山輝晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-197727
公開番号（公開出願番号）：特開2005-036665
出願日： 2003年07月16日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

【課題】真空排気が行なわれる装置の、分子ポンプ側からの高温の放射熱を嫌う要求に対して、ターボ分子ポンプ部のロータの上端面部の表面温度を従来よりも低くすると共に製造コストやランニングコストの値上りを抑えた分子ポンプを提供する。【解決手段】ターボ分子ポンプ部2のロータを上部ロータ6aと下部ロータ6bとに2分割可能に形成すると共にこれらの間に断熱材製のパッキン7a、7bを介在させて両者間の熱伝導を阻止するように形成し、又、前記ターボ分子ポンプ部2の静翼段を覆うケーシングを上部ケーシング10aと下部ケーシング10bとに2分割可能に形成すると共にこれらの間に断熱材製のパッキン11a、11bを介在させて両者間の熱伝導を阻止するようにし、更に前記上部ケーシング10a及び下部ケーシング10bを冷却水管を用いた冷却手段で冷却するようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の動翼をロータの外周部に放射状に突設してなる動翼段を多段に有すると共に、これら動翼段間に各々放射状に静翼を配置してなる静翼段を多段に有するターボ分子ポンプ、及び又は、該ターボ分子ポンプ部に連設されたねじ溝真空ポンプ部を有する複合分子ポンプにおいて、前記ロータを、上部動翼段を有する上部ロータと下部動翼段を有する下部ロータとに2分割可能に形成すると共に、これら上部ロータと下部ロータとの間に断熱部材を介在させて両者間の熱伝導を阻止するように形成し、更に前記静翼段を覆うケーシングに前記静翼段の一部又は全部を冷却する冷却手段を設けて、該冷却した静翼段により前記上部ロータの温度を冷却するように形成した分子ポンプ。

IPC (1件)：

F04D19/04

FI (2件)：

F04D19/04 G , F04D19/04 D

Fターム (11件)：

3H031DA01 , 3H031DA02 , 3H031DA04 , 3H031DA07 , 3H031EA02 , 3H031FA01 , 3H031FA02 , 3H031FA04 , 3H031FA31 , 3H031FA34 , 3H031FA35

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-183297
真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-270654 出願人：株式会社荏原製作所
特表平7-508082

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