特許
J-GLOBAL ID:200903095850511787

真空ポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡邉 勇 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-270654
公開番号(公開出願番号):特開2002-081397
出願日: 2000年09月06日
公開日(公表日): 2002年03月22日
要約:
【要約】【課題】 万一ロータが破壊した場合でも、ロータの破片でチャンバや処理中の製品を傷つけることなく、真空ポンプを交換することで速やかに装置を再使用可能な状態にすることが可能な安全性の高い真空ポンプを提供する。【解決手段】 ポンプケーシング14内部にロータRとステータSにより気体排気部が構成された真空ポンプにおいて、気体排気部L1,L2を構成するロータが、軸方向、及び/又は、径方向に少なくとも2つ以上のロータ115,116に分割されている。
請求項(抜粋):
ポンプケーシング内部にロータとステータにより気体排気部が構成された真空ポンプにおいて、前記気体排気部を構成するロータが、軸方向、及び/又は、径方向に少なくとも2つ以上に分割されていることを特徴とする真空ポンプ。
FI (3件):
F04D 19/04 D ,  F04D 19/04 E ,  F04D 19/04 H
Fターム (6件):
3H031DA01 ,  3H031DA02 ,  3H031DA07 ,  3H031EA09 ,  3H031FA01 ,  3H031FA31
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開昭63-183297
  • 中間取入れ口を備えた摩擦真空ポンプ
    公報種別:公表公報   出願番号:特願平9-516219   出願人:ライボルトヴァークウムゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
  • 特開平4-301197
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