特許
J-GLOBAL ID：200903082180605543
非接触型温度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-333941
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145479
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 赤外線検出素子の性能を損なうことなく、自動組立が可能な非接触型温度センサを提供する。【解決手段】 被測定物体から放射される赤外線を吸収し、電気信号に変換する赤外線センサの赤外線吸収部分を、熱容量が小さくかつ熱抵抗の高い多孔質シリコン上に形成する。この多孔質シリコンは、単結晶シリコンをシリコン酸化物を溶解する溶液中で陽極酸化することによって形成する。
請求項（抜粋）：
被測定物体から放射される赤外線を吸収し、電気信号に変換する赤外線センサを備えた非接触型温度センサにおいて、前記赤外線センサの赤外線の吸収部分を多孔質シリコン上に形成することを特徴とする非接触型温度センサ。
引用特許：
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