特許

J-GLOBAL ID：200903082198893830

欠陥検出装置

発明者： 鈴木 潮
出願人/特許権者： 富士電線電器株式会社
代理人 (1件)： 岡田 英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-055249
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248637
出願日： 1998年03月06日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】 コストを抑えるとともに、欠陥の種類や位置等に関係なく確実に、被検査物の欠陥を検出する。【解決手段】 ランプ114(光源)から発した光は、投光部116a,116b,116cに沿って伝送され、透明フィルム100(被検査物)に投光される。そして、透明フィルム100で反射した光の一部が受光部106,108の光ファイバー104に入射する。こうして入射した光は受光部106,108に沿って伝送され、順にそれぞれ光センサー112,110で光の強度が測定される。受光部106,108に入射する光の強度は、透明フィルム100に欠陥がないときはほぼ同じとなり、欠陥があるときは異なる。そのため、光センサー112,110で変換された電圧の大きさの差分値が大きくなれば、透明フィルム100に欠陥があると判別することができる。

請求項（抜粋）：

光を伝送する複数の光伝送部材を列状に配置し、被検査物に向けて投光する投光部と、その複数の光伝送部材を列状に配置し、その被検査物からの光をそれぞれ受光する複数の受光部と、複数の受光部で受光した光の強度を測定する光強度測定部と、光強度測定部によって測定された光の強度の差分値に基づいて、被検査物の欠陥を判別する欠陥判別部とを備えており、投光部と複数の受光部とをほぼ平行状に配置し、複数の受光部をそれぞれ複数のブロックに区分し、かつ列方向にずらし、光強度測定部を複数のブロックごとに対応して設けた欠陥検出装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/89

FI (2件)：

G01N 21/88 A ,  G01N 21/89 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-011153
  
• 表面検査用光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-072610   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 表面欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-213088   出願人：オリンパス光学工業株式会社