特許

J-GLOBAL ID：200903082247719964

照明装置及び照明方法

発明者： 堂向 徹
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-074329
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268603
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 小型かつ簡素な構成でスペックルの低減を可能にする照明装置及び照明方法を提供する。【解決手段】 本照明装置20は、コヒーレント光を出射するコヒーレント光源として半導体レーザー11と、並置された複数個の要素レンズ22を有し、コヒーレント光源から出射したコヒーレント光をほぼ要素レンズの数に相当する複数個の光束に分割するレンズアレイ13と、焦点位置でほぼ同一の被照射領域16を照明するように、複数個の光束を集光する集光レンズ14、15とを備える。これにより、被照射領域でスペックルを低減することができる。

請求項（抜粋）：

光軸上に配置されたコヒーレント光を出射するコヒーレント光源と、光軸に対して交差する面上に並置された複数個の要素レンズを有し、コヒーレント光源から出射したコヒーレント光を要素レンズの数にほぼ等しい複数個の光束に分割するレンズアレイと、光軸に対して交差する面に沿って配置され、焦点位置でほぼ同一の被照射領域を照明するように、分割された複数個の光束を集光する集光レンズとを備えることを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

F21S 2/00 ,  G02B 3/00 ,  G02B 19/00 ,  G03B 27/54

FI (4件)：

F21M 1/00 Q ,  G02B 3/00 A ,  G02B 19/00 ,  G03B 27/54 Z

Fターム (12件)：

2H052BA02 ,  2H052BA09 ,  2H052BA14 ,  2H109AA01 ,  2H109AA12 ,  2H109AA17 ,  2H109AA29 ,  2H109AA92 ,  3K042AA01 ,  3K042AC06 ,  3K042BC09 ,  3K042BE02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• レーザディスプレイ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-220372   出願人：ソニー株式会社
• 照明装置、露光装置及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-069671   出願人：キヤノン株式会社