照明装置、露光装置及びデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-069671
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270312
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】照明状態を変えることができる、内面反射型及び振幅分割型の各インテグレータを用いる照明装置を提供する。【解決手段】内面反射型インテグレータ4と振幅分割型インテグレータ7の間に、インテグレータ4が形成する面光源をインテグレータ7の光入射面上に結像するズーム光学系を配し、ズーム光学系の結像倍率を可変とする。ズーム光学系の結像倍率を変えることによりインテグレータ7の光入射面上の面光源像の大きさを変え、マスク9に対する照明光の開き角αを変更する。

請求項（抜粋）：

入射光の少なくとも一部を内面で反射して光出射面又はその近傍に強度分布が均一な面光源を形成する内面反射型の第1インテグレータと、入射光の波面を分割して光出射面又はその近傍に複数の光源を形成する波面分割型の第2インテグレータと、前記面光源を前記第2インテグレータの光入射面又はその近傍に結像する結像光学系と、前記複数の光源からの光を被照明面上で互いに重ね合わせる集光光学系とを有し、前記結像光学系が結像倍率を変えることができることを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G02B 27/00 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 515 D , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , G02B 27/00 V , H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (7件)

照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-211220 出願人：株式会社ニコン
特開平4-225214
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-037897 出願人：株式会社ニコン

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