特許
J-GLOBAL ID：200903082257329900
縦型熱処理装置
出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社
東京エレクトロン株式会社 について
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-046729
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203720
出願日： 2004年02月23日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 蓋体の腐食の問題を解消することができる縦型熱処理装置を提供する。【解決手段】 下端が開口された石英製の処理容器2と、該処理容器2の下方に昇降可能に設けられ、処理容器2の開口端2aを閉塞する蓋体8と、該蓋体8上に設けられ複数枚の被処理体を多段に保持するボート9と、前記処理容器2の周囲に設けられた図示しないヒーター(加熱手段)とを備え、前記蓋体8は、前記処理容器2の開口端2aに当接される石英製の内側蓋部17と、該内側蓋部17の外面を覆う金属製の外側蓋部18とからなり、前記内側蓋部17の上端外周部を、前記処理容器2の開口端2a外周部よりも内側に形成し、前記外側蓋部18の上端内周部に、前記内側蓋部17の上端外周面と前記処理容器2の開口端2a下面とに接してこれらの間をシールするOリング29を設けている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
下端が開口された石英製の処理容器と、該処理容器の下方に昇降可能に設けられ、処理容器の開口端を閉塞する蓋体と、該蓋体上に設けられ複数枚の被処理体を多段に保持する保持具と、前記処理容器の周囲に設けられた加熱手段とを備えた縦型熱処理装置において、前記蓋体は、前記処理容器の開口端に当接される石英製の内側蓋部と、該内側蓋部の外面を覆う金属製の外側蓋部とからなり、前記内側蓋部の上端外周部を、前記処理容器の開口端外周部よりも内側に形成し、前記外側蓋部の上端内周部に、前記内側蓋部の上端外周面と前記処理容器の開口端下面とに接してこれらの間をシールするOリングを設けられていることを特徴とする縦型熱処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
5F045AA06
, 5F045AA20
, 5F045DP19
, 5F045EB06
, 5F045EB10
, 5F045EE14
, 5F045EF17
, 5F045EF20
, 5F045EM10
引用特許：
出願人引用 (5件)
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熱処理用ボート及び縦型熱処理装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願2002-058262 出願人：東京エレクトロン株式会社 -
基板処理装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願2000-182548 出願人：株式会社日立国際電気 -
熱処理装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平5-192771 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
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審査官引用 (4件)
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