熱処理用ボート及び縦型熱処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金坂憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-058262
公開番号（公開出願番号）：特開2003-257958
出願日： 2002年03月05日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】一本足ボートの脚部と回転軸部とを確実に連結することが可能で、ボートの落下、転倒、破損を防止し、耐震性の向上を図る。【解決手段】多数の被処理体wを上下方向に多段に支持するボート本体17と、該ボート本体17を被処理体wの周方向に回転させるための回転軸部27に連結される一本足の脚部18とを備えた熱処理用ボート16において、前記ボート本体17と脚部18が一体に形成され、前記脚部18の回転軸部27との連結部にはフランジ部19が形成され、該フランジ部19にはこれを回転軸部27にネジ20で締結するための孔部21が設けられている。

請求項（抜粋）：

多数の被処理体を上下方向に多段に支持するボート本体と、該ボート本体を被処理体の周方向に回転させるための回転軸部に連結される一本足の脚部とを備えた熱処理用ボートにおいて、前記ボート本体と脚部が一体に形成され、前記脚部の回転軸部との連結部にはフランジ部が形成され、該フランジ部にはこれを回転軸部にネジで締結するための孔部が設けられていることを特徴とする熱処理用ボート。

IPC (5件)：

H01L 21/31 , C23C 16/458 , H01L 21/22 511 , H01L 21/22 , H01L 21/324

FI (5件)：

H01L 21/31 E , C23C 16/458 , H01L 21/22 511 G , H01L 21/22 511 R , H01L 21/324 Q

Fターム (10件)：

4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030GA02 , 4K030GA06 , 4K030KA04 , 4K030LA15 , 5F045BB20 , 5F045DP19 , 5F045DP28 , 5F045EM10

引用特許：

出願人引用 (5件)

半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-113244 出願人：富士電機株式会社
半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-300469 出願人：富士電機株式会社
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-352856 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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審査官引用 (4件)

半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-113244 出願人：富士電機株式会社
半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-300469 出願人：富士電機株式会社
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-352856 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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