特許

J-GLOBAL ID：200903082282313008

トラップ装置

発明者： 利久 敏博 ,  長倉 啓介
出願人/特許権者： アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-356334
公開番号（公開出願番号）：特開2001-170402
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
要約：

【要約】【課題】 ガス流入口近傍以外の箇所における固形物の蓄積を促進させることにより、装置の使用時間を延ばし、かつ、固形物の収集効率を向上させる。【解決手段】 両端に開口を有した円筒形状の容器22の一方の開口がガス流入口24として、他方の開口がガス流出口26として用いられる。容器の内部のガス流入口とガス流出口との間に、排気経路に接続されるガスの流路が形成されている。この流路は、螺旋状に延在する主流路と、この主流路の一部から分岐して当該主流路の他の部分に接続する副流路とで構成される。主流路は、容器内部の円筒形状の軸体28の表面に接続された薄板30によって形成される。副流路は、薄板の所定の位置に形成された開口32によって形成される。

請求項（抜粋）：

真空ポンプにより排気される気密容器の排気経路に配置されており、該排気経路内で固体化するガスを固形物として除去するためのトラップ装置において、該トラップ装置は、前記排気経路に接続されるガスの流路を内部に有した容器により構成されており、前記流路中のガスの流速が当該流路の位置に応じた所定の流速に制御されることを特徴とするトラップ装置。

IPC (3件)：

B01D 8/00 ,  F04B 37/16 ,  F16L 55/24

FI (3件)：

B01D 8/00 ,  F04B 37/16 ,  F16L 55/24 Z

Fターム (17件)：

3H076AA21 ,  3H076BB21 ,  3H076CC52 ,  3H076CC95 ,  4D076BE01 ,  4D076BE10 ,  4D076CD22 ,  4D076EA08X ,  4D076EA08Y ,  4D076EA12X ,  4D076EA14X ,  4D076EA16X ,  4D076EA16Y ,  4D076EA26X ,  4D076HA12 ,  4D076JA02 ,  4D076JA03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ドライ真空ポンプ後段用のトラップ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-251834   出願人：日本真空技術株式会社
• トラップ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-210962   出願人：島津メクテム株式会社