特許

J-GLOBAL ID：200903082347264140

高空間分解能および多視点結像用の荷電粒子ビーム装置

発明者： ユルゲン, フロシエン
出願人/特許権者： アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー
代理人 (2件)： 山田 行一 ,  野田 雅一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-075452
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278329
出願日： 2006年03月17日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】検出方式が改善された荷電粒子装置を提供すること。【解決手段】この装置は、1次荷電粒子ビームを提供する荷電粒子源(1)と、電位を提供する第1のユニット(5)と、電位を提供する第2のユニット(7)と、第1ユニット(5)と第2ユニット(7)の間に位置決めされた中央ユニット(6)とを備える。この中央ユニットは、1次荷電粒子を第1の低エネルギーに減速し、この1次荷電粒子を第2の高エネルギーに加速するために第1および第2のユニットの電位と異なる電位を提供することができる。第1ユニット(5)および/または第2ユニット(7)は、試料(4)のところで放出される2次電子を検出する検出器である。【選択図】 図2a

請求項（抜粋）：

1次荷電粒子ビームを提供する荷電粒子源(1)と、 第1の電位を提供する第1のユニット(5)と、 第2の電位を提供する第2のユニット(7)と、 前記第1ユニット(5)と前記第2ユニット(7)の間に配され、前記第1ユニットの方向から到達する1次荷電粒子を第1の低エネルギーに減速し、前記第2ユニットに向かって伝播する前記1次荷電粒子を第2の高エネルギーに加速するために前記第1および第2の電位と異なる第3の電位を提供し得る中央ユニット(6)とを備え、 前記第1ユニット(5)および/または前記第2ユニット(7)は、試料(4)で放出される荷電粒子を検出する検出器である、荷電粒子ビーム装置。

IPC (4件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66 ,  G01N 23/225

FI (4件)：

H01J37/244 ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J ,  G01N23/225

Fターム (22件)：

2G001AA04 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001BA30 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA06 ,  2G001GA09 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB05 ,  4M106DB18 ,  5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NP05 ,  5C033NP06 ,  5C033NP08 ,  5C033UU02 ,  5C033UU04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 荷電粒子の二重モ-ド検知
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-323309   出願人：シュルンベルジェテクノロジーズ,インコーポレイテッド
• 特開昭63-146336
  

審査官引用 (3件)

• 荷電粒子の二重モ-ド検知
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-323309   出願人：シュルンベルジェテクノロジーズ,インコーポレイテッド
• 特開昭63-146336
  
• 特開昭63-146336