特許
J-GLOBAL ID:200903082374881533

液面計測装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大木 健一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-174524
公開番号(公開出願番号):特開2002-365023
出願日: 2001年06月08日
公開日(公表日): 2002年12月18日
要約:
【要約】【課題】 簡易な計測方式で液面の形状変化を定量的に精度良く取得することができる液面計測装置及び液面計測方法を提供する。【解決手段】 レーザー発振器1と、前記レーザー発振器1からのレーザー光を拡散してその強度分布が粒状に分布するスペックルパターンを発生させる拡散手段2と、前記拡散手段2からのレーザー光を平行光に変換するとともに、前記平行光を測定対象である液面Sに導くパラボラ反射手段8と、前記液面を透過した前記並行光が投影されるスクリーン4と、前記スクリーン4上のスペックルパターンLSを撮影する撮像手段5と、前記撮像手段5からの前記スペックルパターンLSを処理して前記液面の形状を計測する液面形状再構築部6とを備える。
請求項(抜粋):
干渉性の高い波動を発生する波源と、前記波源からの波動を拡散して前記波動の強度分布が粒状に分布するスペックルパターンを発生させる拡散手段と、前記拡散手段からの波動を平行波動に変換するとともに、前記平行波動を測定対象である液面に導くパラボラ反射手段と、前記液面を透過した前記並行波動が投影されるスクリーンと、前記スクリーン上のスペックルパターンを撮影する撮像手段と、前記撮像手段からの前記スペックルパターンを処理して前記液面の形状を計測する液面形状再構築部とを備え、前記液面形状再構築部は、第1の液面状態における第1スペックルパターンを第2の液面状態における第2スペックルパターンと比較することにより、これらに含まれる粒状のスペックルの一部あるいは全部の移動ベクトルを求め、前記移動ベクトルに基づき液面の局所的な傾きを求め、これらの傾きに基づき前記液面の形状を再構築することを特徴とする液面計測装置。
IPC (3件):
G01B 11/24 ,  G01B 11/26 ,  G01F 23/28
FI (3件):
G01B 11/26 G ,  G01B 11/24 D ,  G01F 23/28 K
Fターム (23件):
2F014FA02 ,  2F065AA35 ,  2F065AA54 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC00 ,  2F065FF56 ,  2F065GG04 ,  2F065GG05 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ14 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL08 ,  2F065LL19 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ41
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 光学式寸法測定器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-215334   出願人:松下電工株式会社
引用文献:
前のページに戻る