圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-301675
公開番号（公開出願番号）：特開平11-143542
出願日： 1997年11月04日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】衝撃体の摺動面に与えられる摩擦力の影響を最小限にし、運動エネルギーを効率的に利用することができる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置を提供する。【解決手段】圧電素子22の一方側に取り付けられる慣性体21と、前記圧電素子22のもう一方側に取り付けられる衝撃体23と、前記慣性体21と前記衝撃体23が取り付けられた移動方向に予圧を与える衝撃体移動方向予圧手段と、前記慣性体21及び前記衝撃体23をガイドするローラガイド又は低摩擦係数の摺動面25及び26と、前記圧電素子22に外部より電圧パターンを与える手段とを具備している。

請求項（抜粋）：

圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置において、(a)圧電素子の一方側に取り付けられる慣性体と、(b)前記圧電素子のもう一方側に取り付けられる衝撃体と、(c)前記慣性体と前記衝撃体の移動方向に予圧を与える衝撃体移動方向予圧手段と、(d)前記慣性体及び前記衝撃体をガイドする案内手段と、(e)前記圧電素子に外部より電圧パターンを与える手段とを具備してなる圧電素子の急速変形に伴う衝撃力を利用した小型精密位置決め装置。

IPC (3件)：

G05D 3/00 , H01L 41/09 , H02N 2/00

FI (3件)：

G05D 3/00 G , H02N 2/00 B , H01L 41/08 C

引用特許：

出願人引用 (8件)

精密位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-059592 出願人：樋口俊郎, 小野田セメント株式会社
精密位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-076806 出願人：秩父小野田株式会社
特公平5-080685

全件表示

審査官引用 (9件)

精密位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-059592 出願人：樋口俊郎, 小野田セメント株式会社
精密位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-076806 出願人：秩父小野田株式会社
特公平5-080685

全件表示

前のページに戻る