特許

J-GLOBAL ID：200903082398868910

半導体圧力センサ

発明者： 福久 孝治 ,  中溝 佳幸
出願人/特許権者： 北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-174354
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005197
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】 温度の変化など外部からの影響によるノイズが少なく、かつ有機溶媒ガスにも使用することができるようにする。【構成】 半導体のセンサ素子20と、被測定圧を導入する圧力導入筒25とが気密状態に接合されている。この接合状態は、センサ素子20と圧力導入筒25の間に、ほぼ等しい径の球状のシリコン、セラミックス、又はシリカ粉からなるスペーサ30が複数個、一層に挟持されており、その間隙にフロロシリコン樹脂32が充填され接続されている。

請求項（抜粋）：

半導体の圧力センサ素子と被測定圧を導入する圧力導入部とが気密状態に接合された半導体圧力センサにおいて、上記圧力センサ素子と上記圧力導入部の間にフロロシリコン樹脂が充填され接着されたことを特徴とする半導体圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 19/00 101 ,  G01L 9/04 101 ,  G01L 19/04

FI (3件)：

G01L 19/00 101 ,  G01L 9/04 101 ,  G01L 19/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 圧力センサとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-082812   出願人：北陸電気工業株式会社
• 特開平1-189539
  
• 特開平1-189539