特許

J-GLOBAL ID：200903082407132620

リーク検査方法およびリーク検査装置

発明者： 瀬尾 雅己
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (2件)： 長門 侃二 ,  山中 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-345853
公開番号（公開出願番号）：特開2007-147559
出願日： 2005年11月30日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】被検査体にダメージを与えることなく、そのリーク検査を短時間に効率良く実行することのできるリーク検査方法およびリーク検査装置を提供する。【解決手段】被検査体に一定量の流体を供給し、或いは上記被検査体から一定量の流体を排出した後、前記被検査体を一定時間に亘って封止し、その後、前記被検査体を開放して該被検査体から流出または流入する流体の量を計測し、前記被検査体に出入りする流体量の差から前記被検査体の密閉性を検査する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査体に一定量の流体を供給し、或いは上記被検査体から一定量の流体を排出した後、前記被検査体を一定時間に亘って封止し、 その後、前記被検査体を開放して該被検査体から流出または流入する流体の量を計測し、前記被検査体に出入りする流体量の差から前記被検査体の密閉性を検査することを特徴とするリーク検査方法。

IPC (1件)：

G01M 3/26

FI (1件)：

G01M3/26 L

Fターム (6件)：

2G067AA25 ,  2G067BB02 ,  2G067BB03 ,  2G067BB04 ,  2G067CC04 ,  2G067DD04

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特公昭52-24436号公報
  
• 特開平3-77041号公報
  
• リーク検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-342851   出願人：ガスミックス工業株式会社, 有限会社エーディ