特許
J-GLOBAL ID：200903082420717131
走査型間隙量検出による真直度測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-319321
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121131
出願日： 2001年10月17日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【課題】 走査機構の走査運動に伴う空間移動誤差の影響を排除できる新規な間隙検出器を提示し、前述の独立の空間精度誤差測定機構の不要化を実現するにある。【解決手段】 固定された略平行な2つの被検面の測定に当たって、同被検面間間隙が所定の範囲にある場合、同間隙の絶対値を検出しようとするものである。
請求項（抜粋）：
少なくともひとつの未知の真直度をもつ少なくとも3つの類似の柱状被検体と、移動部を走査軸方向に走査する走査機構と、所定の測定範囲をもつように前記移動部に取り付けられた間隙検出器とを備える3面あわせ法を用いた真直度測定装置において、前記被検体の表面の前記走査軸方向の真直度を測定する際、前記被検体の少なくとも未知の真直度を有する被検体を含む2個の被検体を、前記走査軸方向を中央にした状態で、略平行な対向状態に配置すると共に、対向された同被検体表面の間隔を前記間隙検出器の前記測定範囲内とし、相手の異なる3組の前記被検体の組み合わせに対して、前記間隙検出器を前記操作軸方向に走査する際に得られる3種の間隙検出値から、前記走査方向の前記真直度を同定し、かつ、別に求められた前記間隙検出値の不確かさ情報を用いて前記真直度の不確かさを求めることを特徴とする走査型間隙量検出による真直度測定方法。
Fターム (10件)：
2F065AA23
, 2F065AA47
, 2F065FF51
, 2F065GG04
, 2F065GG12
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065MM14
, 2F065MM24
, 2F065PP02
