特許

J-GLOBAL ID：200903082423018714

ダイヤモンド膜を堆積させる装置と方法

発明者： スティーブン エム.ジャフ ,  マシュー シンプソン ,  セシル ビー.シェパード ,  マイケル エス.ヒューザー
出願人/特許権者： サン ゴバン/ノートン インダストリアル セラミックス コーポレイション ,  セレステック,インコーポレイティド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-038090
公開番号（公開出願番号）：特開平9-235193
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 水素の利用効率を高めることによって、高い効率と低いコストで合成ダイヤモンド膜を製造する技術と装置を提供する。【解決手段】 水素ガスと炭化水素ガスを含む雰囲気を提供し、誘電性バリヤの放電によってその雰囲気の水素ガスを解離させ、原子状水素を発生させ、その雰囲気中に堆積表面を提供し、その原子状水素を利用し、その炭化水素ガスからその堆積表面上にダイヤモンドを堆積させる、各工程を含むことを特徴とするダイヤモンド膜の堆積方法。好ましくは、その原子状水素が、その解離箇所からその堆積表面まで分子拡散によって輸送され、その水素ガスを解離させる工程が、その堆積表面から10mm未満の距離でその水素ガスを解離させ、その雰囲気のガス圧力が40トール未満であり、水素ガスがそのダイヤモンド堆積を助長する際に、原子状水素が再結合した水素を再度解離させる。

請求項（抜粋）：

水素ガスと炭化水素ガスを含む雰囲気を提供し、誘電性バリヤの放電によってその雰囲気の水素ガスを解離させ、原子状水素を発生させ、その雰囲気中に堆積表面を提供し、その原子状水素を利用し、その炭化水素ガスからその堆積表面上にダイヤモンドを堆積させる、各工程を含むことを特徴とするダイヤモンド膜の堆積方法。

IPC (5件)：

C30B 29/04 ,  B01J 19/08 ,  C01B 31/06 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50

FI (5件)：

C30B 29/04 C ,  B01J 19/08 G ,  C01B 31/06 A ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 高配向性ダイヤモンド薄膜形成方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-261743   出願人：株式会社神戸製鋼所