電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造方法で製造された電気光学装置、電気光学装置を搭載した電子機器、および液滴吐出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 藤綱英吉 , 須澤修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-359293
公開番号（公開出願番号）：特開2005-123121
出願日： 2003年10月20日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】フィルム基板に成膜する場合に、その成膜性を向上させることが可能な電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造方法で製造された電気光学装置、電気光学装置を搭載した電子機器、および液滴吐出装置を提供することを目的とする。【解決手段】フィルム基板に膜形成を行う電気光学装置の製造方法において、フィルム基板10を多孔質プレート40に吸着させるフィルム吸着工程と、多孔質プレート40に吸着されたフィルム基板10に膜形成を行う膜形成工程と、を含むことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

フィルム基板に膜形成を行う電気光学装置の製造方法において、前記プラスチックフィルム基板を多孔質プレートに吸着させるフィルム吸着工程と、前記多孔質プレートに吸着されたフィルム基板に膜形成を行う膜形成工程と、を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。

IPC (6件)：

H05B33/10 , B05C5/00 , B05D3/00 , B05D7/00 , B05D7/04 , H05B33/14

FI (7件)：

H05B33/10 , B05C5/00 101 , B05D3/00 C , B05D7/00 H , B05D7/04 , H05B33/14 A , B41J3/04 101Z

Fターム (46件)：

2C056EC12 , 2C056FA15 , 2C056HA12 , 2C056HA30 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4D075AC06 , 4D075AC09 , 4D075AC73 , 4D075AC82 , 4D075AC88 , 4D075AC93 , 4D075CB08 , 4D075DA04 , 4D075DB33 , 4D075DB35 , 4D075DB36 , 4D075DB37 , 4D075DB38 , 4D075DB39 , 4D075DB40 , 4D075DB43 , 4D075DB45 , 4D075DB46 , 4D075DB47 , 4D075DB48 , 4D075DB49 , 4D075DB50 , 4D075DB52 , 4D075DB53 , 4D075DB54 , 4D075DB55 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EC07 , 4D075EC17 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041BA10 , 4F041BA13 , 4F041BA22 , 4F041BA38

引用特許：

出願人引用 (1件)

画像表示パネル
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-200764 出願人：パイオニア株式会社

審査官引用 (5件)

特開平4-142548
吸着固定用多孔質シート
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-062361 出願人：日東電工株式会社
有機電界発光表示素子製造工程用積層シート
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-173889 出願人：パナック株式会社

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