特許
J-GLOBAL ID:200903082449559772
プレーナ型アクチュエータ
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
笹島 富二雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-258850
公開番号(公開出願番号):特開2006-072251
出願日: 2004年09月06日
公開日(公表日): 2006年03月16日
要約:
【課題】 可動部に設けたレンズやミラーを介して照射される光ビームの焦点位置を調整できるプレーナ型アクチュエータを提供する。 【解決手段】 固定部2に一対の梁部3を介して可動可能に支持された可動部4と、可動部4に設けられて入射する光ビームを屈折する凸レンズ5と、可動部4に敷設した駆動コイル6,7及び駆動コイル6,7に静磁界を作用させる一対の永久磁石手段8A,8Bとで構成されて可動部4を固定部2に対して上下方向に駆動可能な駆動手段と、を備える構成とした。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
固定部に梁部を介して可動可能に支持された可動部と、該可動部に設けられて入射する光ビームを屈折又は反射する光学手段と、前記可動部を前記固定部に対して少なくとも上下方向に駆動可能な駆動手段とを備え、前記光学手段で屈折又は反射された光ビームの焦点位置を調整可能な構成としたことを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。
IPC (5件):
G02B 26/08
, B81B 3/00
, G02B 26/10
, H04N 1/036
, B41J 2/44
FI (5件):
G02B26/08 E
, B81B3/00
, G02B26/10 104Z
, H04N1/036 Z
, B41J3/00 D
Fターム (27件):
2C362AA48
, 2C362BA17
, 2C362BA18
, 2C362BA83
, 2C362DA03
, 2H041AB14
, 2H041AB24
, 2H041AC05
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H045AB03
, 2H045AB06
, 2H045CA42
, 2H045CA43
, 2H045CB03
, 2H045DA02
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DB02
, 5C051DB04
, 5C051DB06
, 5C051DB22
, 5C051DB24
, 5C051DC04
, 5C051DC07
, 5C051DE22
, 5C051DE26
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
特許第2722314号公報
-
ガルバノマイクロミラー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-183253
出願人:富士通株式会社
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