特許
J-GLOBAL ID：200903065827002984
ガルバノマイクロミラー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183253
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013443
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 製造コストの上昇を極力抑えつつ、ダンピングの発生を良好に防止できるガルバノマイクロミラーを提供する。【解決手段】 枠状の基部6と、一方の主面に光を反射させるミラー面12が形成され、他方の主面に電極板14a,14bが形成されたミラー部8と、基部6とミラー部8とを連結し、かつミラー部8を所定の角度範囲で回動可能に支持するトーションバー部10とを含むミラー基板4と、電極板14a,14bに対向する電極板18a,18bが形成された電極基板2とを有し、電極板14a,14bと電極板18a,18bとの間に電圧を印加することにより、静電引力によってミラー部8をトーションバー部10の軸芯周りに微小角度回動させるガルバノマイクロミラーであって、電極基板2のミラー部8との対向面の一部に、電極基板2を厚み方向に貫通する貫通孔16を形成した。
請求項（抜粋）：
枠状の基部と、一方の主面に光を反射させるミラー面が形成され、他方の主面に第1電極が形成されたミラー部と、前記基部と前記ミラー部とを連結し、かつ前記ミラー部を所定の角度範囲で回動可能に支持するトーションバー部とを含むミラー基板と、前記第1電極に対向する第2電極が形成された電極基板とを有し、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することにより、静電引力によって前記ミラー部を前記トーションバー部の軸芯周りに微小角度回動させるガルバノマイクロミラーであって、前記電極基板の前記ミラー部との対向面の一部に、前記電極基板を厚み方向に貫通する貫通孔を形成したことを特徴とする、ガルバノマイクロミラー。
IPC (4件)：
G02B 26/10 104
, G02B 26/10
, B81B 3/00
, G02B 26/08
G02B 26/10 104
, G02B 26/10 F
, B81B 3/00
, G02B 26/08 E
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2H045AB06
, 2H045AB16
, 2H045AB73
