特許

J-GLOBAL ID：200903082490645812

複合顕微鏡システム

発明者： 池田 幸介 ,  渡辺 正満
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075735
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268763
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、走査型電子顕微鏡と光学顕微鏡とを統一的に操作・制御して、走査型電子顕微鏡の長所と光学顕微鏡の長所を併せ持つ装置を実現する複合顕微鏡システムを提供することにある。【解決手段】本発明は、制御部用操作パソコン15と、この制御部用操作パソコン15により制御される光学顕微鏡1及び電子顕微鏡6と、前記光学顕微鏡1の観察拡大像もしくは前記電子顕微鏡6の観察拡大像が切替えられて表示されるモニタ14とを具備することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

制御用パソコンと、この制御用パソコンにより制御される光学顕微鏡及び電子顕微鏡と、前記光学顕微鏡の観察拡大像もしくは前記電子顕微鏡の観察拡大像が切替えられて表示されるモニタとを具備することを特徴とする複合顕微鏡システム。

IPC (4件)：

H01J 37/22 502 ,  G01B 9/04 ,  G01B 15/00 ,  G02B 21/00

FI (4件)：

H01J 37/22 502 L ,  G01B 9/04 ,  G01B 15/00 B ,  G02B 21/00

Fターム (17件)：

2F064AA09 ,  2F064MM26 ,  2F064MM32 ,  2F064MM34 ,  2F064MM45 ,  2F067AA45 ,  2F067EE05 ,  2F067HH06 ,  2F067KK09 ,  2F067PP12 ,  2F067SS13 ,  2F067UU33 ,  2H052AD06 ,  2H052AD19 ,  2H052AF10 ,  2H052AF13 ,  2H052AF14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-152487   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
• 特開平4-370639
  
• 特開平4-370639